|
Книга ID: 1111296
Физико-технологические основы микроэлектроники Сб. науч. тр. Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни; [Редкол.: Р. С. Касымова (отв. ред.) и др.]
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство. Микроэлектронные схемы интегральные - Физика.
Сведения об издании:
Ташкент ТашПИ 1985 96 с. 20 см
Язык:
rus
|
|