|
Книга ID: 1111047
Технология интегральных микросхем. Диффузия. Эпитаксия Учеб. пособие по курсу "Технология интегр. микросхем" В. М. Глазов, В. В. Игнатьев, М. А. Королев, М. А. Ревелева; Под ред. В. В. Игнатьева
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство. Полупроводниковые пленки - Получение.
Сведения об издании:
М. МИЭТ 1985 76 с. 20 см
Язык:
rus
|
|