|
Книга ID: 1092736
Основы пленочной технологии и размерной обработки тонких пленок Текст лекций Ю. Н. Горин, В. Л. Ласка, М. Тирок
Тематика, ключевые слова:
Пленки тонкие - Обработка. Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство.
Сведения об издании:
Л. ЛЭТИ 1985 48 с. 20 см
Язык:
rus
|
|