|
Книга ID: 1056615
Физические основы и технология термического окисления кремния [Учеб. пособие] Н. А. Колобов, А. А. Чернов
Тематика, ключевые слова:
Кремний - Окисление термическое. Полупроводниковые пленки - Качество.
Сведения об издании:
М. МИЭМ 1983 60 с. 20 см
Язык:
rus
|
|