|
Книга ID: 1050519
Материаловедение полупроводников и диэлектриков Раздел "Использ. ион. пучков для воздействия на состав, структуру и свойства материалов электрон. техники* Учеб. пособие для спец. 0604, 0643, 0629 С. С. Горелик
Сведения об издании:
М. МИСИС 1983 109 с. 20 см
Язык:
rus
|
|