|
Книга ID: 10418
Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 АН СССР. Физ.-технол. ин-т
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Москва 1990 29 с.
Язык:
rus
|
|