|
Книга ID: 10080
Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Черноголовка 1995 23 с.
Язык:
rus
|
|