Физико-топологические модели для автоматизации проектирования полупроводниковых и вакуумных элементов интегральных схем В. В. Ермак, К. О. Петросянц, В. А. Шилин, А. А. Яншин; [Ред.-метод. совет: Яншин А. А. (пред.)]