|
Книга ID: 52657
Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1991 21 с.
Язык:
rus
|
|