|
Книга ID: 52242
Метод получения и свойства малонапряженных толстых полиимидных покрытий и свободных пленок и технология элементов МЭУ на их основе : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 Рос. технол. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1997 24 с.
Язык:
rus
|
|