|
Книга ID: 2866102
Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01, 05.27.06 Рос. гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского (МАТИ)
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах.
получение тонких полиимидных структур.
Сведения об издании:
Москва 2003
52 с.
Язык:
rus
|
|
