|
Книга ID: 2390007
Формирование рельефа поверхности углеродных конденсатов, получаемых импульсным вакуумно-дуговым методом : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория, исследования. Физика конденсированного состояния.
Сведения об издании:
Белгород 2004 194 с.
Язык:
rus
|
|