|
Книга ID: 1991153
Моделирование физических и физико-химических процессов, происходящих при изготовлении и деградации изделий из поликристаллического карбида кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1993 187 с.
Язык:
rus
|
|