|
Книга ID: 155980
Исследование и разработка технологии изготовления термостабильных слабопроникающих контактных систем кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
кремниевые ИС.
Сведения об издании:
Москва 1996
159 с.
Язык:
rus
Аннотация:
Дмитрий Геннадьевич Громов представил свою диссертацию о технологии изготовления термостабильных слабопроникающих контактных систем кремниевых интегральных микросхем. В этой работе исследуется и развивается новая технология, которая может изменить направление развития электронной техники. Результаты исследования могут быть использованы для создания более надежных и энергосбережущих устройств.
|
|
