|
Книга ID: 154946
Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхронного излучения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
рентгенолитография.
Сведения об издании:
Москва 1996
168 с.
Язык:
rus
Аннотация:
В данной диссертации рассматриваются методы синтеза оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхронного излучения. Автор, Филатова Маргарита Сергеевна, анализирует актуальные вопросы в этой области и предлагает новые решения для улучшения качества полученных изображений. Работа будет полезной для специалистов в области физики материалов и технологий.
|
|
