|
Книга ID: 154169
Моделирование тепло-массопереноса и оптимизации газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника. тепло-массоперенос. реакторы химического осаждения.
Сведения об издании:
Москва 1995 133 с.
Язык:
rus
|
|