|
Книга ID: 113369
Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Физ.-техн. ин-т
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1996 23 с.
Язык:
rus
|
|