|
Книга ID: 1023145
Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии [Е. Г. Гук, В. Б. Шуман, А. В. Ельцов, Т. А. Юрре ]; Отв. ред. А. В. Ельцов
Тематика, ключевые слова:
Светочувствительные материалы полимерные. Полупроводниковые приборы - Производство - Материалы.
Сведения об издании:
Л. Ленингр. отд-ние 1984 117 с. 22 см
Язык:
rus
|
|