|
Книга ID: 1011828
Технология полупроводниковых приборов и интегральных схем Разд. "Фотолитография, окисление, технология интегр. схем* Учеб. пособие для студентов спец. 0629 С. Г. Мадоян; Под ред. Е. А. Ладыгина
Сведения об издании:
М. МИСИС 1983 117 с. 20 см
Язык:
rus
|
|