Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21 Казанский гос. техн. ун-т. Гайнуллина, Наталья Романовна. Казань 1998. Заказать электронную копию

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Гайнуллина, Наталья Романовна
	Книга ID: 1414 Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21 Казанский гос. техн. ун-т Тематика, ключевые слова: Радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства. Сведения об издании: Казань 1998 15 с. Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]